科研协作项目公示信息

按照《XC体育科研协作项目管理办法（试行）》文件规定，为加强公司科研协作项目的管理，确保高性能集成制造实验室电子装备数字化制造技术研究的顺利进行。 北京北方华创微电子装备有限公司 与项目负责人 常建涛 将开展科研合作，现将合作相关事项公示如下：

项目名称： 基于机器视觉和工艺数据自学习的外延参数动态智能调整技术

合作内容：建立晶圆与基座对位控制方法，攻克高温腔室晶圆特征提取、无标定板标定等难题。建立工位数据模型，实现晶圆位置“静态调整”到“动态调整”的转变，提升外延工艺质量。

项目负责人：常建涛

关联内容：无关联关系。

公示时间为2025年10月24日至2025年10月28日（共5个自然日）。如有异议，请在公示期内以书面形式实名向项目负责人所在公司或科学研究院提出，并提供必要的证明材料，否则不予受理。

联系人：李治杰

邮箱：emim@xidian.edu.cn

附件：外协单位营业执照

高性能电子装备机电集成制造

全国重点实验室

2025 年 10 月24日